真空断路器的灭弧能力源于真空环境的高介质强度。当触头分离时，金属蒸汽在真空中形成电弧，由于离子扩散速度快，电弧在电流过零时迅速熄灭。灭弧室的真空度需保持在 10^-3Pa 以上，采用不锈钢波纹管密封，可耐受 10 万次以上的分合闸操作。某真空断路器厂的型式试验显示，灭弧室在 30 年寿命周期内，真空度下降不超过 10%。
在 10kV 配电网中，真空断路器是主流选择。某工业园区的 10kV 开闭所，采用 ZW32-12 型真空断路器，短路开断电流达 25kA，可快速切除故障，缩短停电时间至 0.1 秒以内。在风电领域，真空断路器用于箱式变电站，耐受海拔 4000 米的高海拔环境，在 - 40℃的低温下仍能可靠分合闸。
智能型真空断路器集成了状态监测功能。通过内置的传感器，实时监测触头磨损、真空度、机械特性等参数。某供电公司的试点项目显示，智能断路器的故障预警准确率达 90%，运维成本降低 30%。